4W-Batch Etch 離子蝕刻系統
4W Batch Etch 離子蝕刻系統: 4W 批次蝕刻系統是具有需求的靈活度高、具有價格優勢、佔地小等優點。適用一般研發或量產用的離子蝕刻/離子製程工件。4W 批次蝕刻系統可搭配不同的樣品台,治具和離子源以符合客戶需求。
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