4W-BTD AOCS 偏壓式靶材沉積先進光學鍍膜系統
4Wave 偏壓式靶材沉積先進光學鍍膜系統
4Wave 的偏壓式靶材沉積先進光學鍍膜系統(簡稱 BTD AOCS)以超過 20 年的離子束和偏壓式靶材濺鍍製程經驗可以提供給客戶最先進的光學薄膜系統。BTD AOCS的設計,可以提供的鍍膜品質,包括密度高,表面平整,品質穩定,且非常低的光學吸收。樣品的進出設計可以確保鍍膜的品質具有重複性。樣品台可以依據客戶的需求做必要的特殊設計。选用KRI 考夫曼离子源.
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