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KRI 離子源(KRI Ion Source ) eH 2000 系列:
KRI 離子源 eH 2000 是一款更強大的版本,帶有水冷方式,他具備 eH 1000 所有的性能,而且可以產生更高的離子束功率,適合更高的工藝等級和更大的系統。水冷方式有助於降低襯底溫度,可適用於塑膠襯底。
KRI Ion Source eH 2000
Model |
eH 2000 L, eH 2000, eH 2000 x O2, eH 2000 LEHO |
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Cathode / Neutralizer |
Yes |
Anode module |
Yes |
Process gases |
Inert, reactive, organic |
Power controller |
eH Plasma Power Pack |