KRI 考夫曼霍爾離子源 eH|伯東公司

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KRI 考夫曼離子源
KRI 考夫曼霍爾離子源 eH
eH Linear

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KRI Ion Source eHL 線性離子源

KRI Ion Source eHL 線性離子源使用 eH 200 或 eH 400 做為模組，能應用於寬範圍的襯底，離子源長度高達 1 米，通過嚴格調整模組間的距離可以實現最佳的均勻性和離子流。由於模組是平行放置，大大簡化了氣體、功率和電子三者的分佈。KRI eHL 線性產品使用標準的端部霍爾模組並使設備的需求簡化，一個低成本、高電流和低能量的離子束可以很好的使用于 web 塗層、in-line 沉積和圓柱旋轉濺射系統。

KRI Ion Source eH Linear

Model	eHL 200-3, eHL 200-5, eHL 200-7
Height (nominal)	2.9＂ (7.4cm)
Width (nominal)	3.3＂ (8.4cm)
Length (nominal)	Determined by number of modules & application
Cathode/Neutralizer	Yes

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