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CTI 低溫(冷凝)泵

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CTI-CRYOGENICS 低溫泵(冷凝泵)

CTI 低溫泵(冷凝泵)產品是在低溫高真空技術領域全球領導者,CTI 獨創的低溫泵冷凝泵)及低溫泵系統設計帶來了獨特的表現,可靠性和生產能力,無論從單個低溫泵用於高技術研究領域,還是到複雜的低溫泵系統用於半導體生產,資料存儲,平板顯示,和光學器件,CTI 為低溫高真空技術制訂了世界級標準。

On-Board Waterpumps are high performance vacuum pumps, which increase water vapor pumping speed, providing substantially improved system configurations to fit any application. And they provide the field-proven reliability, the process flexibility, and the advanced productivity and performance of CTI-Cryogenics' On-Board family of high vacuum pumps.
CTI-CRYOGENICS® CRYOPUMP SYSTEMS Features:
1. 50% to 75% reduction in time to base pressure
2. Higher yields through reduced water vapor and lower contamination.
3. Temperature control for selective water vapor pumping. No gate valve required.
4. Low cost installation and operation. The compressor can be located remotely, with no cold refrigerant lines.
5. Advanced On-Board control system for process optimization and monitoring, predictive maintenance, networked pump management, and ease of use.
6. Compatibility with other On-Board pumps including common user interface, compressor, and communications protocol.

CTI 低溫泵(冷凝泵)產品優勢:
1. 真空度高,無油,符合高要求的真空系統的需要,
2. 泵內沒有機械運動部件,沒有易損件,安裝靈活,無需特別維護,
3. 吸水汽的能力強,抽速大;具有遠端監控功能;
4. On-Board 型冷凝泵具有全自動快速再生功能,
5. 系統不再受接頭、進氣管、閥和擋板等的冷傳導的影響,
6. 低溫盤管的安裝不需要高真空閥,可在任何系統中方便地進行。

CTI 低溫泵(冷凝泵)應用領域:
半導體(semiconductors),太陽能薄膜制程 (Thin Film Solar Processes),光纖市場(optical networking),平板顯示(flat panel displays),光學鍍膜(Optical Coating),捲繞鍍膜(web coating),裝飾鍍膜(decorative coating),及實驗室設備(laboratory requirements)。











 


On-Board® 低溫泵
具有集成控制和外設部件的低溫泵系統。可以快速的實現與設備系統的控制的整合和系統集中操控。
• 穩定的工藝性能。
• 性能經過強化,提供設備更多的工藝時間。
• 縮短再生時間,是 Cryo-Torr® 系列低溫泵的三分之一到一半。
• 快速再生功能提升完全再生之間的性能表現。
• 成組的低溫泵具有群組再生功能,可以大大縮短整個系統的再生時間耗用,增加設備的有效使用時間。
• 全球性的服務支援體系。

On-Board® 低溫泵集成了微電腦控制,可以顯著提高泵體的性能,並提供系統自我診斷和設備通訊的功能。On-Board® 低溫泵可以適合複雜的軟體程式控制。現在全球的追求性能和可靠性的低溫泵主流應用正是採用On-Board® 做為標準的解決方案。
On-Board® 低溫泵為各種高要求的真空工藝提供潔淨、可靠和迅捷的真空獲得手段,並保證了設備的高產和工藝的穩定性。On-Board® 低溫泵有全系列的品種,滿足各類工藝和應用條件的選用。

On-Board® 低溫泵技術參數:


 

Model

4F

8

8F

10

10F

400

Pumping speed - liter/sec

Water Vapor

1,100

4,000

4,000

9,000

9,500

17,500

Air

370

1,500

1,500

3,000

 

6,000

Hydrogen

370

2,500

2,200

5,000

 

12,000

Argon

310

1,200

1,200

2,500

 

5,000

Capacity - std. liter

Argon

210

1,000

1,000

2,000

 

2,500

Hydrogen (5x10-6 Torr)

 

3

17

12

24

24

Nominal Regeneration Time (cold to cold)

First & Second Stage

75 min.

150 min.

150 min.

150 min.

150 min.

180 min.

Second Stage

<1 hr

<1 hr

<1 hr

<1 hr

<1 hr

<1.5 hrs

 

Cryo-Torr® 低溫泵

CTI-Cryogenics 基礎級的低溫泵。
多年歷史證明的出色性能和可靠品質。
靈活加裝使用者的控制裝置和外設部件。
全球性的服務支援體系。

Cryo-Torr® 低溫泵為各種高要求的真空工藝提供潔淨、可靠和迅捷的真空獲得手段。Cryo-Torr® 低溫泵以高可靠性、維護快速、低使用成本和高時效的服務支援而著稱。

Cryo-Torr® 低溫泵技術參數:

Model

8

>8F

>10

Pumping speed - liter/sec

Water Vapor

4,000

4,000

9,000

Air

1,500

1,500

3,000

Hydrogen

2,500

2,200

5,000

Argon

1,200

1,200

2,500

Capacity - std. liter

Argon

1,000

1,000

2,000

Hydrogen (5x10-6 Torr)


Cryo-Torr® 20HP High Performance Cryopump
 

Performance and Features

 

Pumping Speeds - liters/sec.

Water Vapor

31,500

Air

10,000

Hydrogen

15,000

Argon

8,400

Capacity - std. liter

Hydrogen

46

Argon

5,700

Throughput - Sccm

Argon

1,500 (19 Torr-Liters/Sec)

Cooldown Time - Minutes

@ 50 Hz Power

150

@ 60 Hz Power

140

Cryopump Mounting Flange Dimensions

20 inch ANSI

27.5 inch / 699 mm OD

Cryopump Weight

160 lbs

72 kg

System Electrical Requirements

Nominal Voltage

200/220 VAC 3-Phase @ 50/60 HZ

Nominal Input Power

7.5 kW @ 60 HZ
5.7 kW @ 50 Hz

Operating Range

200 - 230 @ 60 HZ
190 - 220 @ 50 Hz

Argon

5,700

System Cooling Requirements

Water Flow

1.3 - 4.0 gpm

 


Compressors 氦氣製冷壓縮機

8200 壓縮機
適合於所有的 On-Board 或 Cryo-Torr 的 4 英寸、6 英寸和 8 英寸口徑的低溫泵和 On-Board waterpump。
三相電源滿足低振動要求的應用。(單相電源可選)
空氣冷卻或水冷卻。
緊湊的外形設計和較小的占地面積--節約用戶的場地空間。

9600 壓縮機
9600 壓縮機是長壽命、高可靠性和使用方便的設計典範。它的出色性能可以應用於所有的 Cryo-Torr 低溫泵系統、On-Board 低溫泵系統、On-Board Waterpump 系統和 On-Board TurboPlus 真空泵系統。9600 壓縮機支持單個和群組化的低溫泵配置,合適在全球任何新的和現存的 CTI-Cryogenics 低溫真空系統。
模組化的設計和高可靠的部件確保長壽命與高可靠性。
使用方便,在三年的吸附器更換週期內免維護。
支援遠端控制功能,方便不同的安裝應用。
安裝簡單快速,適合全球任何電力供應。搬運、接線便捷,自動輸出適合冷頭使用的電源。
超大氦氣量輸出和高效能的設計提升低溫泵系統的性能和快速再生的效果。
支援單個和群組化的低溫泵配置,合適在全球任何新的和現存的 CTI-Cryogenics 低溫真空系統。
全球客戶服務專線 GUTS 保障。

9700 A 壓縮機
9700 A 壓縮機是在 Helix Technology 的 9600 壓縮機構架上研發的,濃縮了高可靠性技術的精華。加大的氦氣輸出量令 9700 A 壓縮機成為多台低溫泵應用的理想選擇。
在多台低溫泵或 waterpump 應用的場合,一台 9700 A 壓縮機提供了相當簡單的解決方案。和多台壓縮機的應用方案相比,9700 A 壓縮機方案減少了能量的消耗, 免除了複雜的冷卻水分路供應系統,節約了場地和空間。9700 A 壓縮機適合所有的 Cryo-Torr 低溫泵系統、On-Board 低溫泵系統、On-Board Waterpump 系統和 On-Board TurboPlus 真空泵系統。
9700 A 壓縮機的氦氣回路的連接完, 全焊接為一體,提高系統的可靠性。
支援單個和群組化的低溫泵配置。
支援遠端控制功能,方便不同的安裝應用。
使用方便,在三年的吸附器更換週期內免維護。
全球客戶服務專線 GUTS 障。

頻率轉換器
小型高效的頻率轉換器確保在 50Hz 工況下低溫泵最大效率的工作。
Cryodyne Refrigerators 製冷機系統
CTI Cryodyne 製冷機系統是基於 Gifford-McMahon 熱力迴圈的單級或雙級閉環氦氣製冷系統。Cryodyne 製冷機為廣大商業和科研應用提供溫度小於10K 到 大於 80K 的低溫方案。Helix Technology 的 Cryodyne 製冷機是全球經過最多應用實例長年的驗證的閉環氦氣製冷系統,在工商業應用用途上,現今的裝機總量超過 65,000 套系統,更有 50,000 套以上用作軍事、航太、科研領域。Cryodyne 製冷機系統包括製冷機、壓縮機和適合用戶要求的安裝包。安裝包主要包括氦氣管路和電纜,長度從 10 英尺到 300 英尺。

優異的可靠性
全球經過最多應用實例長年的驗證的閉環氦氣製冷系統。
使用高可靠的壓縮機提供氦氣,製冷機內部沒有大負載的運動部件,減少磨損可能。
使用純氦氣作為製冷工質,對環境無害,工作安全性好。
內置過濾設計將氦氣回路污染的影響減低到最小程度。

CTI 冷凝泵(低溫泵)技術參數:

Model

4F

8

8F

10

10F

400

Pumping speed - liter/sec

Water Vapor

1,100

4,000

4,000

9,000

9,500

17,500

Air

370

1,500

1,500

3,000

 

6,000

Hydrogen

370

2,500

2,200

5,000

 

12,000

Argon

310

1,200

1,200

2,500

 

5,000

 

 

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