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渦輪分子泵 Hipace 1200-2300

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Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 1200-2300
伯東公司 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 1200-2300,抽速範圍 1250-1900l/s 的全系列緊湊型複合軸承渦輪分子泵,特殊結構設計的 HiPace 1200 - 2300 系列渦輪分子泵可以倒置安裝。
對小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4) 都有很高的抽速。

分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 產品優點:

1.抽速從1200-2300l/s的全系列產品
2.安裝角度可選0°-90°和90°-180°
3.分子泵有抗腐蝕性氣體型號可選(C型號)
4.帶節流閥和閥門的集成淨化氣體系統
5.電壓範圍90 - 265 V
6.獲得SEMI S2, UL, CSA和 TÜV認證
7.防護等級IP54符合工業環境應用要求
8.適用于各種嚴苛工藝如刻蝕,濺鍍,分子泵耐粉塵
9.集成分子泵控制器 TC 1200,可直接連接一般電源

 

分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 技術參數

分子泵型號

分子泵連接尺寸 DN

抽速 l/s

壓縮比

最高啟動壓強hPa

極限壓力

全轉速氣體流量hPa l/s

啟動時間

重量

進氣口

排氣口

氮氣
N2

氦氣He

氫氣 H2

氮氣
N2

氮氣N2

hPa

氮氣N2

min

kg

HiPace 1200

200

40

1,250

1,300

1,100

> 1X108

2

< 1X10–7

20

2.5

27 – 40

HiPace 1500

250

40

1,400

1,350

1,150

> 1X108

2

< 1X10–7

20

2.5

29 – 41

HiPace 1800

200

40

1,450

1,650

1,700

> 1X108

1.8

< 1X10–7

20

4

33 – 34

HiPace 2300

250

40

1,900

2,000

1,850

> 1X108

1.8

< 1X10–7

20

4

34 – 47

C = 抗腐蝕性氣體
T = 溫控管理

 

分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 應用領域:
1. 分析儀器 2. 半導體 3. 鍍膜 4. 工業  5. 研發

分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 ISO-K


分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 ISO-F


分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 CF-F


分子泵 HiPace™ 1200, pumping speed


分子泵 HiPace™ 1500, DN 250 ISO-K


分子泵 HiPace™ 1500, DN 200 ISO-F


分子泵 HiPace™ 1500, DN 200 CF-F


分子泵 HiPace™ 1500, pumping speed


分子泵 HiPace™ 1800, DN 250 ISO-K


分子泵 HiPace™ 1800, DN 250 ISO-F


分子泵 HiPace™ 1800, pumping speed


分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 ISO-K


分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 ISO-F


分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 CF-F


分子泵 HiPace™ 2300, pumping speed,

Pfeiffer 分子泵 Hipace 1200-2300 :伯東公司真空產品事業部是德國 Pfeiffer 指定銷售維修中心,100% 原裝進口並提供 Pfeiffer 全系列真空產品的售後維修服務。

 

分子泵 Hipace 1200-2300 特殊結構設計,可應用于高粉塵制程,維護成本低

分子泵型號

介面 DN

抽速 l/s

壓縮比

最高啟動壓強mbar

極限壓力

重量

進氣口

氮氣 N2

氮氣 N2

氮氣 N2

hPa

kg

HiPace 1200

200

1250

> 1X108

2

 < 1X10–7

27–40

HiPace 1500

250

1400

> 1X108

2

< 1X10–7

29–41

HiPace 1800

200

1450

> 1X108

1.8

< 1X10–7

33–34

HiPace 2300

250

1900

> 1X108

1.8

< 1X10–7

34–47

 

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