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渦輪分子泵 TMH/U 10-500 l/s 產品優點:
1. Pfeiffer 渦輪分子泵前級耐壓最高可達 25 mbar, 這意味著可以採用更小的前級泵
2. 高真空端的永久磁鐵保護軸承提供給轉子五維支撐,確保了渦輪分子泵振動小
3. 前級端的脂潤滑陶瓷滾珠軸承確保了分子泵維護容易,長壽命運行.
4. 轉子葉片採用專用車床銑制,葉片無靜態扭力,耐衝擊.
5. 獨有的半磁浮的設計,能產生潔淨的高真空和超高真空,比磁懸浮泵經濟.
6. 可以任意角度安裝.
7. 結構非常緊湊,變頻器與泵體的一體化設計,避免了連接變頻器帶來的不便.
渦輪分子泵適用領域:
1. 電子顯微鏡 2. 離子注入技術 3. 薄膜塗層 4. 粒子加速器 5. 燈泡/電子管生產
渦輪分子泵產品規格:
型号 |
连接尺寸 DN |
抽速 l/s |
压缩比 |
最高启动 |
极限压力 |
冷却 |
启动 |
重量 |
|||
进气口 |
出气口 |
氢气H2 |
氦气He |
氮气 N2 |
氮气 N2 |
氮气N2 |
氮气 N2 |
min |
kg |
||
TPD 011 |
25 |
16 |
3.7 |
6 |
10 |
3. 106 |
25 |
〈5.10-5 |
风冷 |
0.9 |
1.9 |
TMH/U 071 P/YP |
63 |
16 |
42 |
50 |
59 |
>1011 |
18 |
〈5.10-10 |
风冷 |
2.5 |
3.8 |
TMH/U 071 YPN |
63 |
16 |
40 |
48 |
56 |
>1011 |
16 |
〈5.10-10 |
风冷 |
2.5 |
4.2 |
TMH/U 261 P/YP |
100 |
25 |
190 |
220 |
210 |
>1.109 |
10 |
〈5.10-10 |
风冷 |
1.6 |
7.4 |
TMH/U 262 P/YP |
100 |
25 |
190 |
220 |
210 |
>1.109 |
8.5 |
〈5.10-10 |
风冷 水冷 |
3.5 |
7 |
TMH/U 262 PN/YPN |
100 |
25 |
175 |
220 |
220 |
>1.109 |
8.5 |
〈1.10-7 |
风冷 |
3.5 |
7.8 |
TMH/U 521 P/YP |
100 |
25 |
380 |
400 |
290 |
>1.1012 |
13 |
〈5.10-10 |
风冷 水冷 |
5.5 |
17.5 |
TMH/U 521 PN/YPN |
100 |
25 |
350 |
360 |
270 |
>1.1012 |
8 |
〈5.10-10 |
风冷 |
5.5 |
18.5 |
TPH/U 521 PC |
100 |
25 |
220 |
296 |
260 |
>1.107 |
1 |
〈1.10-8 |
水冷 |
3.5 |
16.5 |
TMH/U 521 P/YP |
160 |
25 |
450 |
520 |
510 |
>1.1012 |
13 |
〈5.10-10 |
风冷 水冷 |
5.5 |
17 |
TMH/U 521 PN/YPN |
160 |
25 |
450 |
520 |
510 |
>1.1012 |
8 |
〈5.10-10 |
风冷 |
5.5 |
18 |
TPH/U 521 PC |
160 |
25 |
300 |
380 |
430 |
>1.107 |
1 |
〈1.10-8 |
水冷 |
3.5 |
16 |
渦輪分子泵尺寸及配件:
TPD 011 DN 25 ISO-KF
渦輪分子泵Pumping speed
渦輪分子泵TMH/U 071 DN 63 ISO-K
渦輪分子泵Pumping speed
渦輪分子泵TMH/U 262 DN 100 ISO-K
渦輪分子泵Pumping speed
渦輪分子泵TMH/U 521 DN 160 ISO-K
渦輪分子泵Pumping speed
分子泵 TMH/U 10-500 l/s
分子泵型號 |
連接尺寸 DN |
抽速 l/s |
壓縮比 |
冷卻方式 |
極限壓力 |
重量 |
---|---|---|---|---|---|---|
進氣口 |
氮氣 N2 |
氮氣 N2 |
|
mbar |
kg |
|
TPD 011 |
25 |
10 |
3. 106 |
風冷 |
〈 5.10-5 |
1.9 |
TMH/U 071 |
40/63 |
33/59 |
>1011 |
風冷/水冷 |
〈 5.10-10 |
3.8 |
TMH/U 261 |
100 |
210/220 |
>1.109 |
風冷/水冷 |
〈 5.10-10 |
7.4 |
TMH/U 521 |
100/160 |
290/510 |
>1.1012 |
風冷/水冷 |
〈 5.10-10 |
17.5 |