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Electron Source

離子源,離子槍, KRI 離子源, 考夫曼離子源

e-Mission Hollow Cathodes

e-Mission Hollow Cathodes

e-Mission Hollow cathode (中空陰極)結構緊湊,重量輕便,可以安裝在離子源或真空系統的側面,相對於燈絲的模式有更長的使用壽命,這在運行忌諱突然中斷的複雜工藝時,是非常有意義的。而且中空陰極 (Hollow cathode) 輻射的熱量更低,可以使襯底獲得更低的溫度,這相對於對溫度敏感的襯底材料而言,中空陰極的優勢是不言而喻的。

e-Mission Filament

e-Mission Filament

KRI Ion Source e-Mission 電子源
考夫曼 (Kaufman) 有多個類型的低能量高密度的電子源,從簡單的熱電子燈絲模式到空陰極模式,典型應用在等離子和離子工藝中的陰極和陽極中和器,通過專利技術完成電子的發射、測量和束流控制,廣泛應用於對靜電敏感和電介質材料領域。
KRI Ion Source e-Mission 模組化
模組化的設計有助於快速的更換維護,節省成本。耗材能在幾分鐘內進行更換,超低的成本花費,而且容易升級,比如可以將浸入式燈絲的模式升級成非浸入式燈絲的模式。
KRI Ion Source e-Mission 功率控制
e-Mission 功率發生器通過嚴格的校準,保障功率的發生、測量和束流的控制,因為電子束流的可控性可以實現負電荷的穩定性和可靠性。
KRI Ion Source e-Mission 模組
e-Mission 模組的選擇取決於工藝目標、真空系統、運行週期和工藝材料。