4W 單晶圓進出樣品蝕刻系統
4W Single Wafer Load Lock 蝕刻系統 4W 單晶圓進出樣品蝕刻系統是具有需求的靈活度高、具有價格優勢、佔地小等優點。適用一般研發或量產用的離子蝕刻/離子製程工件。4W 單晶圓進出樣品蝕刻系統可搭配不同的樣品台,治具和離子源以符合客戶需求。
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