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磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M,ATP 2300M

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Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200MATP 2300M 優點
1.清潔無油,大抽速
2.免維護低成本保養費
3.渦輪分子泵極低的噪音和震動
4.可任意角度安裝


Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200MATP 2300M 技術參數::

分子泵型號

分子泵連接尺寸 DN

抽速 l/s

壓縮比

最高啟動壓強hPa

極限壓力

全轉速氣體流量hPa l/s

啟動時間

重量

進氣口

排氣口

氮氣
N2

氦氣He

氫氣 H2

氮氣
N2

氮氣N2

hPa

氮氣N2

min

kg

ATH 1603 M

ATH 1600 MT

250

40

1,400

970

540

> 1X108

1.7

< 6X10–9

67

6

42

ATH 2303 M

ATH 2300 MT

250

40

2,150

1,800

1,100

> 1X108

2.9

< 6X10–9

67

8

68

ATH 2800 M

ATH 2800 MT

250

40

2,200

2,400

1,550

> 1X108

2.1

< 6X10–9

84

10

93

ATH 3200 M

ATH 3200 MT

320

40

2,800

2,500

1,700

> 1X108

2.1

< 6X10–9

84

10

93

ATP 2300 M

320

40

1,950

2,050

1,700

> 1X108

2.1

< 6X10–9

37

8

60

 

MT型號的分子泵配有集成加熱帶可以進行溫度控制。其自帶加熱系統和水冷系統同時作用,可以確保泵的工作溫度相對恒定(最高工作溫度75°C),同時最小化過程化學物或副產物在泵體內因冷凝而產生的沉積。


Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M,ATP 2300M

 

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200MATP 2300M:伯東公司真空產品事業部是德國 Pfeiffer 指定銷售維修中心,100% 原裝進口並提供 Pfeiffer 全系列真空產品的售後維修服務。

磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M,ATP 2300M  全磁浮系統,可自由調整轉速

分子泵型號

介面 DN

抽速 l/s

壓縮比

最高啟動壓強mbar

極限壓力

重量

進氣口

氮氣 N2

氮氣 N2

氮氣 N2

hPa

kg

ATH 1603 M

250

1400

> 1X108

1.7

< 6X10–9

42

ATH 2303 M

250

2150

> 1X108

2.9

< 6X10–9

68

ATH 2800 M

250

2200

> 1X108

2.1

< 6X10–9

93

ATH 3200 M

320

2800

> 1X108

2.1

< 6X10–9

93

ATP 2300 M

320

1950

> 1X108

2.1

< 6X10–9

60

 

 

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