Pfeiffer 普發渦輪分子泵組

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Pfeiffer 普發渦輪分子泵組

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Hicube 真空泵組產品優點：

1. 渦輪分子泵和前級泵的完美結合；適合多種應用需求
2. 模組化設計原則輕鬆滿足客戶多種應用需求
3. 各部件配合簡便，易於保養維修
4. 集成的驅動系統，無需額外的控制系統
5. “隨插即用”-無需佈線和安裝
6. 結構堅固，服務壽命長，可靠性高
7. 意外斷電時，前級真空安全閥（可選.）可保護真空腔體免受返流影響
8. 可以直接連接真空計

Hicube 真空泵組應用領域：
1.研發 2. 加速器 3. 分析和表面物理學 4. 真空工藝 5. 電子束焊接 6. 檢漏系統
Hicube 系列移動式真空泵組在業界設立了新的標準：最新系列的 HiPace 渦輪分子泵和根據客戶應用需求可選的前級泵系列完美結合。我們為您提供最新的 Classic 和 Pro 系列的 Hicube 真空泵組。真空泵組可選擇幹泵或旋片泵作為前級泵，極限真空度可達 5 * 10-10 mbar。針對特別有限的空間要求，Hicube 真空泵組中還特別提供尺寸非常緊湊的 Hicube Eco 經濟型泵組，其抽速範圍從 35 l/s 至 67 l/s。

Hicube 真空泵組產品規格：
真空泵組 Hicube Pro:

型號	連接法蘭	抽速 l/s	極限真空mbar		前級泵抽速 m³/h
型號	入口	N₂	Xtradry 150	Penta	Xtradry 150	Penta 10	Penta 20	Penta 40
Hicube 80	40	35	〈1.10^-7	〈1.10^-7	7.5	11	22	34
Hicube 80	63	67	〈1.10^-7	〈1.10^-7	7.5	11	22	34
Hicube 80	63	67	〈5.10^-10	〈5.10^-10	7.5	11	22	34<, /TR>
Hicube 300	100	260	〈1.10^-7	〈1.10^-7	7.5	11	22	34
Hicube 300	100	260	〈5.10^-10	〈1.10^-8	7.5	11	22	34
Hicube 400	100	355	〈1.10^-7	〈1.10^-8	7.5	11	22	34
Hicube 400	100	355	〈5.10^-10	〈1.10^-8	7.5	11	22	34
Hicube 700	160	685	〈1.10^-7	〈1.10^-7	7.5	11	22	34
Hicube 700	160	685	〈5.10^-10	〈1.10^-8	7.5	11	22	34

真空泵組 Hicube Eco:

真空泵組 Hicube Classic:

真空泵組技術參數：

真空泵組 Hicube Pro:

真空泵組技術參數：

Hicube 分子泵組真空泵組

分子泵型號	連接尺寸 DN	極限壓力 mbar		前級泵抽速 m3/h
分子泵型號	進氣口	DUO	MVP	MVP 015	MVP 040	MVP 070	DUO 2.5	DUO 5 M
Hicube 80	40	35	<1.10-7	0.9	2.3	3.8	2.5	5
Hicube 300	100	260	<1.10-7	-	2.3	3.8	2.5	5
Hicube 400	100	355	<1.10-7	-	-	3.8	2.5	5
Hicube 700	160	685	<1.10-7	-	-	3.8	2.5	5

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