KRI Ion SourceP ower Supply and Power Pack Controllers 功率控制器
KRI Ion Source 應用領域:
無柵極等離子源技術
----End-Hall 離子/等離子源
有柵極離子源技術
----RFICP 離子源
----DC 離子源
電子源技術
----燈絲
----中空陰極 (Hollow cathode)
----等離子中和器
單機應用
----直流電源 (DC power)
----射頻電源 (RF power)
有多個模組組成,模組的特性取決於功率、頻率、電壓、電流和控制方式,大多數模組都滿足 CE 和 CoHS 標準。